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Reinraum-Roboter
Ein Roboter für den Betrieb in kontrollierten Umgebungen (Halbleiterfabriken, pharmazeutische Fertigung), wo Partikelkontamination minimiert werden muss. Reinraum-Roboter verwenden spezielle Schmierstoffe, versiegelte Gelenke und elektrostatische Ableitung, um ISO-Reinraumklassifizierungen (ISO 1-8) zu erfüllen. Sie handhaben Wafer, Substrate und Fläschchen mit extremer Präzision.