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洁净室机器人

ApplicationsIndustrial

为在受控环境(半导体晶圆厂、制药制造)中运行而设计的机器人,其中必须最小化粒子污染。洁净室机器人使用特殊润滑剂、密封关节和静电耗散来满足 ISO 洁净室分级(ISO 1-8)。它们以极高精度处理晶圆、基板和小瓶。

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