Glossaryに戻る
クリーンルームロボット
半導体ファブ、医薬品製造などの制御環境で動作するように設計されたロボット。粒子汚染を最小化する必要があります。クリーンルームロボットは特殊な潤滑剤、密閉関節、静電気散逸を使用してISO クリーンルーム分類（ISO 1-8）を満たします。ウェーハ、基板、バイアルを極めて高い精度で取り扱います。
半導体ファブ、医薬品製造などの制御環境で動作するように設計されたロボット。粒子汚染を最小化する必要があります。クリーンルームロボットは特殊な潤滑剤、密閉関節、静電気散逸を使用してISO クリーンルーム分類（ISO 1-8）を満たします。ウェーハ、基板、バイアルを極めて高い精度で取り扱います。