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클린룸 로봇
반도체 팹, 제약 제조 등 제어된 환경에서 작동하도록 설계된 로봇으로, 입자 오염을 최소화해야 한다. 클린룸 로봇은 특수 윤활유, 밀폐된 관절, 정전기 소산을 사용하여 ISO 클린룸 분류(ISO 1-8)를 충족한다. 웨이퍼, 기판, 바이알을 극도의 정밀도로 취급한다.
반도체 팹, 제약 제조 등 제어된 환경에서 작동하도록 설계된 로봇으로, 입자 오염을 최소화해야 한다. 클린룸 로봇은 특수 윤활유, 밀폐된 관절, 정전기 소산을 사용하여 ISO 클린룸 분류(ISO 1-8)를 충족한다. 웨이퍼, 기판, 바이알을 극도의 정밀도로 취급한다.